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電子プローブ微小分析法 EPMA ,Electron probe microanalyser
電子プローブ微小分析法 EPMA ,Electron Probe X-ray Microanalysis


 電子線を試料表面にあて、そこから出てくる特性X線を測定し、固体表面の
微少部分の元素を分析する方法。特性X線の波長から元素の種類が、強度から
元素の含有量が分かる。EPMAは、電子線で試料表面を走査して、元素の2次
元分布を観測できる装置である。 微少部分の非破壊分析をBe以上の全ての元
素につきできるので、金属中の不純物、鉱物の分析、また科学や生物学の分野
など応用範囲は広い。