「EPMA」の編集履歴(バックアップ)一覧はこちら
「EPMA」(2006/09/18 (月) 20:03:46) の最新版変更点
追加された行は緑色になります。
削除された行は赤色になります。
電子プローブ微小分析法 EPMA ,Electron probe microanalyser
電子プローブ微小分析法 EPMA ,Electron Probe X-ray Microanalysis
----
電子線を試料表面にあて、そこから出てくる特性X線を測定し、固体表面の
微少部分の元素を分析する方法。特性X線の波長から元素の種類が、強度から
元素の含有量が分かる。EPMAは、電子線で試料表面を走査して、元素の2次
元分布を観測できる装置である。 微少部分の非破壊分析をBe以上の全ての元
素につきできるので、金属中の不純物、鉱物の分析、また科学や生物学の分野
など応用範囲は広い。
----